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yb体育APP下载—为什么说氟塑料在半导体行业是不可替代的?
 时间 : 2022-06-29  

本日一早,各年夜新闻媒体都在报导华为CFO孟晚舟密斯在加拿年夜温哥华被捕的动静,此次拘系是是加拿年夜当局应美国的要求,具体指控的细节还没有有官方说法。联想到美国对华为一贯的敌意,特别是对5G范畴等新兴手艺的争取,此番动作耐人寻味。

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当前全球各个国度都把成长5G手艺设为计谋成长方针,“人工智能”、“虚拟实际”等在5G的加持下,运算和数据传输速度城市年夜年夜晋升。跟着通信手艺成长的,是半导体行业的迅猛成长,化工范畴的新兴学科——电子化学品也应运而生,含氟特气就是此中的一类。除作为原料用,氟塑料成品在半导体yb体育手机版下载行业的感化也是不成替换的,好比前段时候科慕公布年夜幅扩产的PFA。

PFA是甚么?

1972年,美国杜邦公司开辟了四氟乙烯(TFE)和全氟丙基乙烯醚(PPVE)的共聚物,商品名为Teflon PFA,系全氟烷氧基共聚物。尔后,日本年夜金公司(Neoflon PFA)、旭硝子公司(Flon PFA)、欧洲泰良公司(Dyneon PFA)都接踵开辟了本yb体育app官网身的PFA产物,并在市场上据有必然份额。

PFA凡是以颗粒或粉末情势存在,它的机能与聚四氟乙烯(PTFE)附近,但它可以采取热塑性树脂的加工方式,所以又被称为可熔融聚四氟乙烯。

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(PFA化学式)

在很多方面,PFA与聚全氟乙丙烯(FEP)十分类似,但在较高温度下,它却能表示出更好的机械机能。因为PFA具有PTFE和FEP的多种长处,被普遍认为是可替换两者的最好可溶性含氟共聚物。它的根基特征可归纳为以下几点:

1)具有较好的柔韧性,改良了聚合物的熔体粘度,使其可用一般加工工艺进行热塑加工;

2)常温下PFA的物理机械机能与PTFE类似,可在其利用的温度规模内利用;

3)PFA耐应力开裂机能显著优在FEP;

4)PFA几近对所有的化学试剂和溶yb体育手机版注册剂都是惰性的,与凡是的酸、强碱、氧化还原剂、卤素或溶剂接触根基无转变,但和其他全氟碳聚合物一样,会与熔融碱金属、氟元素反映;

5)PFA的通透性较好,厚度较年yb体育官网登录夜时为半透明状,薄片为yb体育直播透明状,耐候性、耐年夜气老化性都比力好,可以持久在室外利用;

6)PFA具有优良的介电机能,这类机能凡是表示为随温度转变的一个常数,但有时会比PTFE、FEP的低。

PFA在半导体行业的利用

我们知道,半导体行业对化学品的纯度要求长短常刻薄的,从1970年PFA降生至今,半导体行业的方针节点尺寸从10μm慢慢缩小到了7nm,乃至5nm。这意味着对电子化学品的纯度要求也在不竭上升。

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(PFA、晶圆和半导体方针节点尺寸的成长过程,图片来历在科慕官网)

非论是湿法蚀刻仍是化学机械抛光(CMP),在全部集成电路制造进程中,哪怕是yb体育网址很少的杂质都将对终究的产yb体育物造成庞大影响,是以电子元件制造商们对原料、运输管道和反映容器yb体育网站等的要求都很是高。要找到一种既本事受强酸强碱、高温高压的极端化学情况,又能被加工成各类外形的材料长短常不轻易的,所幸科学家们发现了PFA。

运输和贮存:因为PFA氟树脂具有极yb体育在线注册强的化学不变性,它能忍耐高温、强酸等极端情况,而yb体育官方且不会与溶剂产生反映,这使得它成为贮存容器和运输管道的杰出材质。它保障了制造进程中电子化学品的高纯度,避免了由于反映容器产生消融、腐蚀而对电子化学品酿成的污染,从而下降了晶圆的缺点率。

化学品配送系统(BCD):BCD是一种系统,能切确地分派化学品,从而下降了从年夜容器中掏出适当化学品的本钱。这一系统凡是包罗了调配和稀释化学品的全主动仪器,在电子化学品的工场中应用普遍。而氟树脂被年夜量应用在BCD根本举措措施中,包罗建造透风管、阀门、水槽等。

湿法蚀刻和清洗:在湿法工艺中,晶圆先被清洗,然后蚀刻,然后再把光刻胶和蚀刻进程的残留物清洗清洁。这一进程中,PFA氟树脂被制成各类东西,如流量计等,以包管蚀yb体育官网刻液、清洗液的高纯度;而PFA在利用进程中不容易开裂,从而包管了出产的高效性。

化学机械抛光(CMP):CMP进程使得晶圆概况在气相沉积之前变得光滑,所用到的液体是一种含有细颗粒的研磨液,若研磨液中的颗粒过年夜,会在晶圆概况留下陈迹,从而致使产物有瑕疵。PFA制成的过滤器在必然水平上禁止了研磨液的杂质接触到晶圆。

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支架:在全部湿法进程中,晶圆是被放置在特定外形的yb体育注册支yb体育登录架上的。因为PFA可以熔融加yb体育工,是以被建造成各类外形的支架,应用在全部晶圆的处置进程中。

后语

此刻国内半导体行业成长很是敏捷,年夜量电子化学品、高纯度的PFA成品等亟待国产化。工欲善其事,必先利其器。华为、中兴们在为通信事业奋斗,而我们氟化工人也应当站好本yb体育在线下载身的岗,早日产出高机能的氟塑料,打破“卡脖子”的手艺桎梏。

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